除了媒合國內企業，經濟部並導入荷商ASML、美商應材及日商東京威力科創技術，形成最終消費端鐵三角的A咖合作聯盟。
為了提供廠商合作誘因，工業局將以專案補助研發經費，最高補助比例達50％，專案補助將依個案申請金額規模調整補助比例。
工業局日前向經濟部長施顏祥報告「推動關鍵零組件與材料進口替代之研析」，篩選出貿易逆差前30大項的材料及其設備，這些關鍵零組件或材料反映出，高度依賴外國進口，主要落在化學材料、塑橡膠材料及機械儀器設備領域，又以機械儀器設備領域逆差項目最多，達到190項。
工業局進一步分析，機械儀器設備中，半導體生產設備逆差金額最高，為96.8億美元，且高達8成以上半導體設備來自於外商，需要進行進口替代力道也最深。
工業局表示，由於我國為半導體產業重鎮，所需要生產設備量相當高，仰賴外商設備多集中在前段製程，而中後段封裝測試，國產率逐漸提升至5成，為了要提升進口替代率，必須從前段著手，才能帶動供應鏈效應，讓相關零組件與材料紛紛提高技術含量。
官員透露，南韓三星在晶圓代工的生產設備投入程度相當深，希望達到垂直整合，台積電也開始在著墨生產設備的掌握空間，積極與國內設備廠共同研發下世代所需的生產儀器，如此可避免上游的設備突然斷貨，並進一步降低生產成本
工業局有意媒合台積電與國內設備供應廠共同開發，其中，漢微科、漢辰均有能力供前端製程，但台積電還沒有信心，工業局除媒合國內企業，也擬導入荷商ASML、美商應材及日商東京威力科創加入，形成半導體設備的鐵三角聯盟，政府資源也將進一步挹注入，透過專案補助研發費用，補助比例最高可望達5成。
由於各項產業特性不同，工業局在針對不同產品，分別訂定出個別目標，例如，半導體的3DIC生產設備，預計在2014年進口替代率達到5成；顯示器產業使用的電漿補助化學氣相沈澱（PECVD），則從過去的35％今年提高到8成以上；至於化學材料，經濟部將透過石化高值化計劃投入。【取自中時電子報】
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